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探針臺分析 | 拒絕“盲目探測”

2024-06-21 11:03

隨著科技的發(fā)展，探針臺國產(chǎn)化有了很大的突破。探針臺是在半導(dǎo)體行業(yè)中進(jìn)行晶圓測試時不可或缺的設(shè)備。

探針臺主要為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺。探針臺可以吸附多種規(guī)格的芯片，并提供多種可調(diào)測試針和探針座。集成電路的電壓、電流、電阻和電容電壓特性曲線可以通過測量儀器完成。主要應(yīng)用于晶圓和晶粒的測試，在尚未封裝的晶圓階段對其進(jìn)行篩選，剔除次品，降低后端封裝的成本。

探針臺調(diào)試時用到的晶圓主要有3種：Dummy wafer，Calibration wafer，Correction wafer

Dummy wafer用于調(diào)試驗(yàn)證探針臺的取放動作，傳送動作是否正確。單步的動作確認(rèn)完之后，再利用很多片Dummy wafer放置于Cassette中進(jìn)行模擬運(yùn)行，驗(yàn)證長時間的取放、傳送動作是否正常。經(jīng)過Dummy wafer的長時間驗(yàn)證運(yùn)行，沒有異常情況之后。廠家的設(shè)備工程師使用Calibration wafer進(jìn)行最終的精度調(diào)整和驗(yàn)證，確保精度達(dá)到規(guī)格需求。在前2步調(diào)試和精度確認(rèn)完成之后，就可以交給客戶進(jìn)行正式生產(chǎn)前的整個測試系統(tǒng)的確認(rèn)?？蛻艄こ處熓褂肅orrection wafer，執(zhí)行和正常生產(chǎn)時同樣的生產(chǎn)動作，得到測試結(jié)果。如果符合預(yù)期要求，機(jī)臺就可以交付給生產(chǎn)部門。

對于探針臺的選擇，首先要明確自己的應(yīng)用需求。不同的研究領(lǐng)域和應(yīng)用場景可能需要不同類型的探針臺。其次，要考慮實(shí)驗(yàn)室條件，實(shí)驗(yàn)室的空間大小、電源要求、接口需求等都會對探針臺的選擇產(chǎn)生影響。接著，在選擇的時候，要比較不同型號的技術(shù)參數(shù)，包括樣品臺尺寸、移動行程、移動精度、顯微鏡配置、溫控系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)等。最后，要考慮價格，是否性價比。

深科達(dá)智能裝備股份有限公司，一家半導(dǎo)體封測更具價值的企業(yè)。在探針臺領(lǐng)域，深科達(dá)在研發(fā)過程中，突破研發(fā)難題，成功研發(fā)出符合市場、性價比更高的探針臺。

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